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產品特點
- 高產能，低能耗；
- 600片/批，13500片/小時---210mm硅片（100片花籃）；
- 720片/批，16000片/小時---182mm硅片（120片花籃）；
- 兼容各種硅片尺寸，最大至230mm；
- 支持最薄120μm硅片；
- 支持多種添加劑技術；
- 快速換液，在線換液；
- 支持MES、RFID及選配在線稱重功能。
基本參數
| 項目 | 技術指標 |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182/210/230可選 |
| Uptime | ≥99% |
| 碎片率 | ≤0.01% |
| 外形尺寸（mm） | 28490×3106×3383(L×W×H) |
| 花籃裝載能力 | 6個花籃/批 |
| 最大提升重量 | 100Kg |
| 產能 | 600片/批，13500片/小時---210mm硅片（100片花籃） 720片/批，16000片/小時---182mm硅片（120片花籃） |
| 清洗節拍 | 2.5min/批（用戶自定，可調） |
| 功率消耗 | 295KW+144KW（熱水機） |
工藝流程
去繞鍍→后清洗→酸洗→后清洗→酸洗→預脫水→烘干（僅供參考）
