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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 高產(chǎn)能，低能耗；
- 600片/批，13500片/小時(shí)---210mm硅片（100片花籃）；
- 720片/批，16000片/小時(shí)---182mm硅片（120片花籃）；
- 兼容各種硅片尺寸，最大至230mm；
- 支持最薄120μm硅片；
- 支持多種添加劑技術(shù)；
- 快速換液，在線換液；
- 支持MES、RFID及選配在線稱重功能。
基本參數(shù)
| 項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182/210/230可選 |
| Uptime | ≥99% |
| 碎片率 | ≤0.01% |
| 外形尺寸（mm） | 27315×3106×3383(L×W×H) |
| 花籃裝載能力 | 6個(gè)花籃/批 |
| 最大提升重量 | 100Kg |
| 產(chǎn)能 | 600片/批，13500片/小時(shí)---210mm硅片（100片花籃） 720片/批，16000片/小時(shí)---182mm硅片（120片花籃） |
| 清洗節(jié)拍 | 2.5min/批（用戶自定，可調(diào)） |
| 功率消耗 | 310KW+144KW（熱水機(jī)） |
工藝流程
預(yù)清洗→堿拋光→后清洗或O3清洗→酸洗→預(yù)脫水→烘干（僅供參考）
