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產(chǎn)品特點
- 大裝片量 18000片/腔；
- 進氣釆用噴淋板的設計分散氣體,增加氣體分散的均勻性；
- 噴淋板采用易拆卸式、便于日后維修保養(yǎng);
- 雙層爐體設計,提高生產(chǎn)的安全性；
- 整機除了ALD鍍膜功能外,并增加退火功能,提高鈍化效果（兩個鍍膜腔，一個退火腔）。
基本參數(shù)
| 項目 | 技術指標 |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182-230半片 |
| 成膜種類 | Al203 |
| 反應源配置 | 三甲基鋁（TMA，Solar grade），水（H2O） |
| 成膜厚度 | 5-40nm 可控 |
| 成膜均勻性 | 片內(nèi):≤4%，片與片:≤4%，批與批:≤3% |
| 鍍膜 | 堆疊側(cè)邊鍍膜 |
裝片量 | ≥18000/腔(210mm半片) |
| UP-TIME | ≥98% |
| 碎片率 (不含自動化上下料) | ≤ 0.03% |
極限真空度 | ≤ 0.08 Torr (~10 pa) |
| 工藝壓力 | 0.5-10 Torr |
| 管路氣密性 | ≤1x10-7pa.m3/s |
| TMA供氣方式 | N2 攜源/蒸氣 |
| 工藝溫度 | 150-300℃+1℃ |
單點溫控精度 | ±0.5°C |
| 溫區(qū)數(shù)量 | 3 |
