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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 高產(chǎn)能，能耗低；
- 600片/批，13500片/小時(shí)---210mm硅片（100片花籃）；
- 720片/批，16000片/小時(shí)---182mm硅片（120片花籃）；
- 兼容各種硅片尺寸，最大至230mm；
- 支持最薄120μm硅片；
- 支持多種添加劑技術(shù)；
- 快速換液，在線換液；
- 支持MES、RFID及選配在線稱重功能。
主要參數(shù)
項(xiàng)目 | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|
硅片尺寸(mm) | 182/210/230可選 |
Uptime | ≥99% |
碎片率 | ≤0.01% |
外形尺寸 | 26140×3106×3383(L×W×H) |
| 花籃裝載能力 | 4個(gè)花籃/批，6個(gè)花籃/批 |
最大提升重量 | 100kg |
產(chǎn)能 | 600片/批，13500片/小時(shí)---210mm硅片（100片花籃） 720片/批，16000片/小時(shí)---182mm硅片（120片花籃） |
清洗節(jié)拍 | 2.4min/carrier(用戶自定，可調(diào)) |
功率消耗 | 285KW+144KW（熱水機(jī)） |
