首頁
產(chǎn)品特點(diǎn)
設(shè)備模塊化設(shè)計(jì)，簡(jiǎn)潔易保養(yǎng)；
支持連接兩臺(tái)管式擴(kuò)散設(shè)備；
采用PLC機(jī)控制人機(jī)界面易于使用和理解，實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控；
可選配在線方阻檢測(cè)、在線舟工作位檢測(cè)功能；
在線/離線配置；
支持AGV,RFID,MES功能擴(kuò)展；
方通+鈑金焊接，配大尺寸透明窗，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠；
多重防呆，重要工站多重感應(yīng)預(yù)警。
基本參數(shù)
機(jī)械系統(tǒng)規(guī)格表 | ||
|---|---|---|
| 硅片 | 兼容硅片尺寸 (mm) | 182×182～210×210(同一臺(tái)設(shè)備一般只兼容相鄰的兩款尺寸) |
厚度(mm) | 0.11～0.20 | |
設(shè)備運(yùn)行能力 | 實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能(凈產(chǎn)能) | 182:≥12500片/小時(shí)，210:≥10500片/小時(shí) |
碎片率 | 182:≤0.02%,210:≤0.03% | |
劃傷吸盤印等EL不良 | ≤0.03%或不低于同行業(yè)水平 | |
| 開機(jī)率(up time) | ≥98% | |
平均故障間隔時(shí)間(MTBF) | MTBF≥300小時(shí) | |
平均故障修復(fù)時(shí)間(MTTR) | MTTR≤2小時(shí) | |
整機(jī)重量(Kg) | 約7500 | |
檢測(cè)功能 | 在線方阻檢測(cè) | 配置方阻檢測(cè)執(zhí)行機(jī)構(gòu) |
CCD相機(jī) | 配置舟工作位碎片檢測(cè)AOl,檢測(cè)異常后報(bào)警提示 | |
插取片方式 | 龍門插片 | |
功能結(jié)構(gòu) | 花籃工位數(shù)量 | 雙工位，每個(gè)工位放置兩個(gè)花籃，A工位工作時(shí)，B工位做準(zhǔn)備 |
石英舟工位數(shù)量 | 雙工位 | |
| 花籃裝卸方式 | 六軸機(jī)器人搬運(yùn) | |
石墨舟裝卸方式 | 龍門桁架三軸機(jī)械手搬運(yùn) | |
石英舟分片輔助 | 風(fēng)刀分片 | |
漏吸片檢測(cè) | 掉片漏吸片檢測(cè) | |
卡片檢測(cè) | 花籃位、舟位具有卡片、掉片檢測(cè)功能 | |
