首頁
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 設(shè)備模塊化設(shè)計(jì)，在線連接一臺(tái)或兩臺(tái)PECVD，可根據(jù)客戶設(shè)備量身定制；
- 采用PLC機(jī)控制人機(jī)界面易于使用和理解，實(shí)時(shí)溫度監(jiān)控；
- 可選配在線隱裂?檢測、在線膜厚檢測、在線色差檢測、在線CCD翹片檢測及NG片自動(dòng)處理功能；
- 在線/離線配置；
- 匹配AGV,RFID,可選配MES功能。
基本參數(shù)
機(jī)械系統(tǒng)規(guī)格表 | ||
|---|---|---|
硅片 | 單晶/多晶 | 兼容 |
生產(chǎn)、設(shè)計(jì)所用的硅片尺寸（mm） | 182×182～230×230（同一臺(tái)設(shè)備一般只兼容相鄰的兩款尺寸）注：當(dāng)切換硅片尺寸時(shí)，需要做機(jī)械裝置的調(diào)整改造。 | |
厚度(mm) | 0.10～0.2 | |
設(shè)備運(yùn)行能力 | 實(shí)際運(yùn)行產(chǎn)能（凈產(chǎn)能） | 182：≥8000 片/小時(shí)@32片/槽 |
碎片率 | 厚度＞130μm：182≤0.02%，210≤0.03%；厚度＜130μm：182≤0.05%，210≤0.08%；A片，不含隱裂等來料不良 | |
正常運(yùn)行時(shí)間（up time） | 98% | |
檢測功能 | 花籃RFID讀數(shù)頭 | 預(yù)留花籃RFID讀數(shù)頭安裝位置 |
下料檢測 | 預(yù)留工藝面在線AOI安裝空間；預(yù)留PL-AOI一體機(jī)+大餅片檢測安裝空間 | |
翹曲片檢測 | 預(yù)留CCD翹片檢測安裝空間（自動(dòng)化和主機(jī)對(duì)接口） | |
功能結(jié)構(gòu) | 上下料通道 | 花籃上下料為2通道上料，2通道下料，1通道返工 |
花籃跑道 | 與AGV對(duì)接匹配，花籃輸送軌道按照5+1+1配置 | |
| 花籃流轉(zhuǎn) | 上料端空花籃自動(dòng)循環(huán)至下料端 | |
石墨舟工位 | 雙工位 | |
拍舟器 | 配置1個(gè)拍舟器，力度可調(diào)并可單獨(dú)屏蔽 | |
| 硅片糾偏 | 帶編碼器伺服電機(jī)糾偏，參數(shù)可調(diào) | |
| 防呆 | 花籃、石墨舟工位需要配置防呆裝置，防止人員放反，需要報(bào)警提醒，放反后設(shè)備不可有裝卸動(dòng)作。 | |
| 真空發(fā)生器 | 吸盤采用一個(gè)真空發(fā)生器控制整個(gè)吸盤 | |
石墨舟溫度檢測 | 檢測主機(jī)傳出石墨舟溫度≤45℃時(shí)，允許進(jìn)行插取片 | |
