首頁
產品特點
- 成熟的高產能工藝，上下料系統(tǒng)：采用平衡對稱設計，增強穩(wěn)定性;
- 快速降溫爐體：最新專利技術使爐體溫度快速降到所需溫度，降溫速率提升25%以上，明顯提升爐管內溫度均勻性;
- 尾氣高效水冷冷凝器收集，確保管道、閥門、過濾器、隔膜泵工作穩(wěn)定可靠和超長的維護周期；
- 穩(wěn)定的抗干擾源管路設計，減少因環(huán)境因素的擾動而造成的方阻波動；
- 架構完整，性能突出的MES/CCRM系統(tǒng)。
基本參數(shù)
| 項目 | 技術指標 |
|---|---|
| 工藝方式 | 軟著陸閉管低壓擴散 |
| 反應管有效內徑 | ?430mm |
| 硅片尺寸（mm） | 182-230mm |
| 裝片量 | 1680-2880片/批@182mm（槽間距2.72mm），2200片/批@210mm（槽間距3.15mm） |
| 方阻及均勻性 | 片內≤5% 片間≤4% 批間≤3%(166/182mm160Ω)，片內≤6% 片間≤5% 批間≤4%(210/230mm160Ω） |
| 加熱溫度 | Rt→1250°C |
| 工作溫度范圍 | 400~1100℃ |
| 溫度控制 | 6點控溫，內外雙?？刂?/td> |
| 升溫方式 | 自動斜率升溫及快速恒溫功能 |
| 降溫方式 | 最新專利技術，6溫區(qū)分段控制主動降溫爐體 |
| 恒溫區(qū)精度及長度 | ≤±0.5℃/2500mm(800~1100℃)/≤±1℃/2500mm(600~800℃) |
| 單點溫度穩(wěn)定度 | ≤±0.5℃/4h(880℃) |
| 送舟方式 | 采用SiC懸臂槳自動水平送片，舟速20 ~ 1500mm/min連續(xù)可調;定位精度≤+1mm ; |
| 系統(tǒng)極限真空度 | 20mbar |
| 系統(tǒng)漏氣率 | 停泵關閥后壓力升率<2 mbar/min |
| 壓力控制方式 | 閉環(huán)全自動 |
| 工藝控制方式 | 全自動，PLC+工控機，觸摸屏操作 |
| 人機交互界面 | LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監(jiān)控、權限管理、 班組管理、組網(wǎng)功能 |
| MES | 可選 |
