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產品特點
- 成熟的高產能工藝、雙模溫度控制技術、薄膜硅保護技術；
- 具備多種鍍膜技術：多層復合膜、摻雜多晶硅技術；
- 采用垂直載片方式（類PE），硅片不容易變彎硅片對氣流的阻擋小，提升氣體利用率，提升鍍膜均勻性；
- 采用獨特工藝氣體進氣設計，爐口環形均勻進氣+爐尾噴淋管進氣，確保氣場的均勻性；
- 采用懸臂槳雙爐門方式，工藝時槳不需退出，縮短了工藝時間；石英管與舟不接觸，減少舟對石英管的影響；
- 快速自適應壓力閉環控制技術；
- 裝卸舟防撞舟技術；
- 一體化工控機+模塊化工藝控制軟件；
- 全面的停電安全處理和法蘭水異常保護。
基本參數
| 項目 | 技術指標 |
|---|---|
| 成膜種類 | SiOx,i/d-Poly-Si |
| 裝片尺寸 |
垂直裝片方式:2880片/批(182mm)，2200片/批(210mm) |
| 膜厚均勻性 |
SiOx均勻性：厚度1-3nm可調，精度0.1nm，用拋光片測試SiOx厚度 Poly均勻性：厚度50-200nm可調，精度1nm，用拋光片測試Poly厚度，片內:≤4%;片間≤4%;批間≤3%(>100nm時) |
| UP -TIME | ≥95% |
| 工作溫度范圍 | 400-750℃ |
| 溫度控制 | 6點控溫，內外雙模控制 |
| 升溫方式 | 自動斜率升溫及快速恒溫功能 |
| 降溫方式 | 最新專利技術，6溫區分段控制主動降溫爐體 |
| 恒溫區精度及長度 | ±1℃/2800mm(550-700℃) |
| 單點溫度穩定度 | ±1℃/6H |
| 升溫時間 | RT → 750℃ ≤ 45min |
| 降溫速率 | ≥ 5℃/min |
| 溫度控制 | 雙模精確控制 |
| 系統極限真空度 | ≤10mTorr |
| 系統漏氣率 | 停泵關閥后壓力升率≤10mTorr/min |
| 壓力控制方式 | 快速調整全自動閉環 |
| 工藝控制方式 | 工藝過程全自動控制， 多重安全連鎖報警 |
| 人機交互界面 | LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監控、權限管理、班組管理、組網功能 |
| MES/CCRM | 具有 |
