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產(chǎn)品特點
- 爐體針對高溫工藝(900~1100℃)有特殊設(shè)計，可有效防止?fàn)t體變形，延長爐體使用壽命;
- 快速降溫爐體:最新專利技術(shù)使?fàn)t體溫度快速降到所需溫度，降溫速率提升25%以上，明顯提升爐管內(nèi)溫度均勻性;
- 先進的串級控溫加智能降溫技術(shù)，提高溫度穩(wěn)定性與控溫精度，減少溫度整定時間；
- 先進的全閉環(huán)壓力控制系統(tǒng)，能對工藝腔室內(nèi)的氣壓進行實時的精確檢測與控制;
- 高效的尾氣處理系統(tǒng)，干濕分離，自動排放，極大延長維護周期，降低維護成本，保證開機率和工藝穩(wěn)定性；
- 創(chuàng)新的不著陸工藝方式，工藝過程中石英舟懸空，可有效減少石英管的受力與變形，減少石英器件之間的粘黏，延長使用壽命；
- 獨特的爐門密封設(shè)計，實現(xiàn)金屬與反應(yīng)腔室的隔離，減少熱量損失，大幅延長密封圈的使用壽命，保障壓力的穩(wěn)定性；
- 穩(wěn)定的通源管路設(shè)計，減少因環(huán)境因素的擾動而造成的方阻波動；
- 架構(gòu)完整，性能突出的MES/CCRM系統(tǒng)。
基本參數(shù)
| 項目 | 技術(shù)指標(biāo) |
|---|---|
| 硅片尺寸（mm） | 182~230mm可選 |
| 工藝方式 | 閉管軟著陸，閉管低壓擴散 |
| 反應(yīng)管有效內(nèi)徑 | ?480mm |
| 裝片量 | 1680-2880片/批@182mm（槽間距2.72mm），2200片/批@210mm（槽間距3.15mm） |
| 方阻及均勻性 | 片內(nèi)≤5% 片間≤5% 批間≤3% （50~110ohm/sq） |
| 加熱溫度 | Rt→1250°C |
| 工作溫度范圍 | 600~1100°C |
| 溫度控制 | 7點控溫，內(nèi)外雙?？刂?/td> |
| 升溫方式 | 自動斜率升溫及快速恒溫功能 |
| 最大降溫速率 | ≥7°C/min ( 1100~900°C) , ≥6°C/min ( 900~700*C ) |
| 恒溫區(qū)精度及長度 | ≥0.5°C/2800mm(600~1100C) |
| 單點溫度穩(wěn)定度 | ≤+0.5°C/4h ( 880°C ) |
| 送舟方式 | 采用SiC懸臂槳自動水平送片，舟速20 ~ 1500mm/min連續(xù)可調(diào)；定位精度≤+1mm ; |
| 系統(tǒng)極限真空度 | 20mbar |
| 系統(tǒng)漏氣率 | 停泵關(guān)閥后壓力升率<1mbar/min |
| 壓力控制方式 | 閉環(huán)全自動 |
| 工藝控制方式 | 全自動，PLC+工控機，觸摸屏操作 |
| 人機交互界面 | LCD顯示、觸摸操作、工藝編輯、在線監(jiān)控、權(quán)限管理、 班組管理、組網(wǎng)功能 |
| MES | 可選 |
