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產(chǎn)品類別
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鈣鈦礦激光刻劃設(shè)備（產(chǎn)線機(jī)型）
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整機(jī)大理石結(jié)構(gòu)，防震剛性設(shè)計(jì)，保證高速刻劃系統(tǒng)穩(wěn)定性；飛行光路激光加工過(guò)程中玻璃保持靜止；光束焦點(diǎn)、間距可獨(dú)立自動(dòng)調(diào)節(jié)。查看詳情 -
鈣鈦礦激光刻劃?rùn)C(jī)（實(shí)驗(yàn)機(jī)型）
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兼容P1/P2/P3/P4四道激光工序一體機(jī)；兼容400*400mm以下尺寸及不同厚度加工，可加工柔性；采用科研級(jí)別大理石結(jié)構(gòu)，高速直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性、加工精度和效率。查看詳情 -
鈣鈦礦激光清邊設(shè)備（產(chǎn)線機(jī)型）
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整機(jī)采用大理石防震結(jié)構(gòu)，保證加工過(guò)程穩(wěn)定；采用毛刷或氣浮整板支撐，保證基板水平；工藝可選擇膜層全清及保留TCO。查看詳情 -
鈣鈦礦激光清邊設(shè)備（產(chǎn)線機(jī)型）
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整機(jī)采用大理石防震結(jié)構(gòu)，采用雙驅(qū)切換保證基板相對(duì)位置固定；采用毛刷或氣浮整板支撐，保證基板水平；清邊工藝可選擇膜層全清及保留TCO。查看詳情 -
全自動(dòng)槽式RCA清洗設(shè)備
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高產(chǎn)能，低能耗；600片/批，13500片/小時(shí)---210mm硅片（100片花籃）；720片/批，16000片/小時(shí)---182mm硅片（120片花籃）。查看詳情 -
全自動(dòng)槽式堿拋清洗設(shè)備
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高產(chǎn)能，低能耗；600片/批，13500片/小時(shí)---210mm硅片（100片花籃）；720片/批，16000片/小時(shí)---182mm硅片（120片花籃）。查看詳情 -
激光隔離和邊緣鈍化設(shè)備
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核心激光器自研，全新光路設(shè)計(jì)，穩(wěn)定可靠；成熟配套工藝，確保組件功率提升穩(wěn)定。查看詳情 -
LPCVD鍍膜機(jī)
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適用于半導(dǎo)體和光伏領(lǐng)域，針對(duì)于光伏領(lǐng)域TOPCon工藝電池；LPCVD設(shè)備可一站式完成隧穿氧化層/Poly層的制備，熱氧和沉積Poly層兩個(gè)工藝合二為一能夠大幅提高產(chǎn)能；同時(shí)兼容i/d-Poly生長(zhǎng)工藝。查看詳情 -
低壓硼擴(kuò)散
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TOPCon已成為N型電池產(chǎn)品化推廣的主流技術(shù)路線之一，硼擴(kuò)散主要用于電池制造中正面制作PN結(jié)，屬于關(guān)鍵制程之一。查看詳情
